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《用于STI工艺的抛光浆料组合物》是凯斯科技股份有限公司于2020.12.07申请的专利，该专利公布号为：CN112980332A，专利公布日为：2021.06.18，发明人是：朴光洙; 黄晙夏; 金廷润; 崔洛炫。
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